重庆首个8英寸MEMS特色芯片IDM全产业链项目迎重大进展

运载光刻机各部件的货柜车进入厂区。受访单位供图

第1眼TV-华龙网讯（记者 梁浩楠）7月16日，记者从西部科学城重庆高新区获悉，重庆首个8英寸MEMS特色芯片IDM全产业链项目——重庆奥松半导体特色芯片产业基地迎重大进展，首台光刻机成功搬入，标志着项目全面进入设备安装调试的快车道。

据了解，该项目预计今年8月底通线试产，第四季度实现产能爬坡并交付客户，对重庆乃至整个集成电路行业都具有深远意义，将实现各类MEMS半导体传感器产品从研发到量产的无缝衔接。待一期项目达产后，将形成每月10000~20000片晶圆的产能。

“此次首台光刻机成功搬入，标志着我们产线正式进入设备安装调试阶段，离正式通线试产并量产指日可待。”奥松半导体项目负责人李忠介绍，光刻机是整个芯片制造过程中最关键的核心设备。光刻的基本原理一直没有变，就是用光把芯片蓝图缩小，投影到硅片上，跟表面化学物质发生反应完成刻蚀。这类似于照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。

据透露，奥松半导体项目计划总投资35亿，包含8英寸特色传感器芯片量产线、8英寸MEMS特色晶圆快速研发线、智能传感器创新研发中心、车规级传感器可靠性检测中心、产学研科研中心及奥松半导体研发办公大楼等。

光刻机各主要部件陆续进入洁净厂房。重庆高新区融媒体中心供图

李忠表示，接下来几天将陆续搬入用于晶圆制造、封装测试、模块生产、系统应用等各类工艺和辅助设备，全部设备计划于月底前搬入完成，第2台光刻机也将于8月搬入。

近年来，重庆以功率半导体和传感器芯片为突破口，充分发挥汽车、电子信息等产业优势，通过政策引导和重大项目布局，正积极布局集成电路产业，努力打造全国乃至全球具有影响力的集成电路产业新高地。奥松半导体项目是重庆半导体产业生态的重要一环，打造的重庆首个8英寸MEMS特色芯片全产业链项目，对重庆集成电路产业发展具有重要意义。

西部科学城重庆高新区有关负责人表示，作为全市集成电路产业主要集聚地，科学城肩负着承接国家集成电路重大生产力布局的使命任务，目前正着力补齐设计、封测模组等集成电路产业链“两端”短板，全力推动集成电路产业发展跑出加速度。

前段时间，科学城还发布了《重庆高新区促进集成电路产业高质量发展的若干措施》，针对集成电路设计端和封测模组端“两端”企业的研发、融资、产业链协同、企业做大做强等关键环节，给予重点支持奖励300万元~5000万元不等，力度已达到西部最优。